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罗茨泵的概念与优点
2021-11-04 21:18:38
罗茨泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于1944年先出现于德国,是为适应在10~1000Pa压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵使用。
根据工作压力范围的不同,分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵(机械增压泵)和高真空罗茨泵。国内用量较多的为中真空罗茨泵(以下简称罗茨泵)。罗茨泵与其它油封式机械泵相比有以下特点:
在较宽的压力范围内有较大的抽速;
转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可降低驱动功率,从而可实现较高转速;
泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
压缩比较低,对氢气抽气效果差;
转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
罗茨泵近几年在较快的发展。在冶炼、石油化工、电工、电子等行业了广泛的应用。